螺桿真空泵
螺桿真空泵是一種非接觸式干式真空泵，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，泵工作時(shí)相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，因此，螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能、免維修等優(yōu)點(diǎn)。該泵以抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn)得以廣泛應(yīng)用，逐漸成為油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
螺桿真空泵適用范圍廣，真空度高，其真空度、抽氣速率不受環(huán)境影響，可獲得清潔真空。
羅茨真空泵
羅茨真空泵又稱(chēng)機(jī)械增壓泵，是一種容積式真空泵，在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿(mǎn)足不同限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵，所達(dá)到的限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn)。
往復(fù)式真空泵
往復(fù)式真空泵屬于低真空獲得設(shè)備，靠活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來(lái)抽氣的真空泵，又稱(chēng)活塞式真空泵。往復(fù)真空泵的結(jié)構(gòu)與往復(fù)活塞壓縮機(jī)相似。工作時(shí)，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復(fù)真空泵抽氣量較大，抽氣速率范圍為每小時(shí)45～20000立方米，單級(jí)泵限壓力約為103帕，雙級(jí)泵可達(dá)1帕。
往復(fù)式真空泵不適合抽除腐蝕性或含有顆粒狀灰塵的氣體，被抽氣體中如果含有灰塵，在泵的進(jìn)口處必須加裝過(guò)濾器。
水環(huán)式真空泵
水環(huán)式真空泵（簡(jiǎn)稱(chēng)水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī)，稱(chēng)為水環(huán)式壓縮機(jī)，是屬于低壓的壓縮機(jī)，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。在泵體中裝有適量的水作為工作液，是靠泵腔容積的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩?br /> 水環(huán)泵和其它類(lèi)型的機(jī)械真空泵相比有如下優(yōu)點(diǎn)：
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造精度要求不高，容易加工。
結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，無(wú)須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。
壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過(guò)程溫度變化很小。
由于泵腔內(nèi)沒(méi)有金屬磨擦表面，無(wú)須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤(rùn)滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來(lái)完成。
吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡(jiǎn)單，維修方便。
水環(huán)泵也有其缺點(diǎn)：
效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)。
真空度低，這不僅是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，限壓強(qiáng)只能達(dá)到2000~4000Pa。用油作工作液，可達(dá)130Pa。
螺桿真空泵是一種非接觸式干式真空泵，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，泵工作時(shí)相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，因此，螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能、免維修等優(yōu)點(diǎn)。該泵以抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn)得以廣泛應(yīng)用，逐漸成為油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
螺桿真空泵適用范圍廣，真空度高，其真空度、抽氣速率不受環(huán)境影響，可獲得清潔真空。
羅茨真空泵
羅茨真空泵又稱(chēng)機(jī)械增壓泵，是一種容積式真空泵，在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿(mǎn)足不同限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵，所達(dá)到的限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn)。
往復(fù)式真空泵
往復(fù)式真空泵屬于低真空獲得設(shè)備，靠活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來(lái)抽氣的真空泵，又稱(chēng)活塞式真空泵。往復(fù)真空泵的結(jié)構(gòu)與往復(fù)活塞壓縮機(jī)相似。工作時(shí)，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復(fù)真空泵抽氣量較大，抽氣速率范圍為每小時(shí)45～20000立方米，單級(jí)泵限壓力約為103帕，雙級(jí)泵可達(dá)1帕。
往復(fù)式真空泵不適合抽除腐蝕性或含有顆粒狀灰塵的氣體，被抽氣體中如果含有灰塵，在泵的進(jìn)口處必須加裝過(guò)濾器。
水環(huán)式真空泵
水環(huán)式真空泵（簡(jiǎn)稱(chēng)水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī)，稱(chēng)為水環(huán)式壓縮機(jī)，是屬于低壓的壓縮機(jī)，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。在泵體中裝有適量的水作為工作液，是靠泵腔容積的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩?br /> 水環(huán)泵和其它類(lèi)型的機(jī)械真空泵相比有如下優(yōu)點(diǎn)：
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造精度要求不高，容易加工。
結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，無(wú)須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。
壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過(guò)程溫度變化很小。
由于泵腔內(nèi)沒(méi)有金屬磨擦表面，無(wú)須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤(rùn)滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來(lái)完成。
吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡(jiǎn)單，維修方便。
水環(huán)泵也有其缺點(diǎn)：
效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)。
真空度低，這不僅是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，限壓強(qiáng)只能達(dá)到2000~4000Pa。用油作工作液，可達(dá)130Pa。
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